L'apparecchiatura della serie CMP sviluppata indipendentemente da LSTD fornisce produttori di materiali a semiconduttore come SI, SIC, GAAS, LNP, GAN, CDTE, diamante, ecc. Le apparecchiature per il riciclaggio del wafer sono entrate in più società manifatturiere a semiconduttore come SMIC; La linea di produzione automatizzata per la lucidatura in carburo di silicio verrà consegnata alla fabbrica del cliente per la produzione di prova in Q 1 2024;
Sulla base del laboratorio originale, milioni di yuan saranno investiti per costruire 100000 livelli di livello, 10000 e 100 livelli puliti di livello e apparecchiature di test di precisione, che verranno ispezionate e messe in uso nella seconda metà del 2024.
Linea di lucidatura del wafer SIC da 6 "/8"
Wafer SIC da 6 "/8"
Sala per pulizia 100 classe
Macchina di pulizia multi-slot
Capacità di ispezione
