Lucidatrice meccanica serie MP
La lucidatrice meccanica della serie LSTD MP è stata sviluppata per soddisfare i requisiti di lucidatura rapida di materiali super duri. L'attrezzatura utilizza piastre di metallo morbido o piastre composite e impasto diamantato con dimensioni delle particelle specifiche, che possono far sì che il pezzo lavorato raggiunga rapidamente la superficie dello specchio. Un altro vantaggio significativo della lucidatura meccanica è che, presupponendo un buon controllo della forma della piastra, è possibile ottenere una superficie del pezzo molto piatta senza quasi alcun cedimento dei bordi. Per il pezzo (wafer) con applicazione epitassiale, dopo la lucidatura meccanica, il tempo del processo di lucidatura chimico-meccanica può essere notevolmente ridotto e i costi ridotti. La lucidatrice chimico-meccanica della serie MP può essere utilizzata per la lucidatura meccanica di vari wafer semiconduttori super duri come zaffiro, carburo di silicio e diamante, nonché per la lucidatura di altri materiali super duri come ceramica, carburo cementato e acciaio temprato.
Come le lucidatrici chimico-meccaniche della serie CP:
Le lucidatrici meccaniche della serie MP sono inoltre divise in tre stessi modelli: tipo base, tipo con azionamento centrale con disco di pressione (tipo CD) e tipo con azionamento indipendente con piastra di pressione (tipo IDP) (vedere pagina 4; le lucidatrici meccaniche della serie MP hanno una struttura simile a CP lucidatrici chimico-meccaniche della serie, ma per soddisfare le esigenze della lucidatura meccanica, le lucidatrici meccaniche della serie MP sono dotate di un sistema di rotazione delle piastre di lucidatura per scanalare le piastre.

Lucidatrice meccanica tipo IDP:
La lucidatrice meccanica di tipo IDP può anche migliorare ulteriormente la precisione della lucidatura meccanica integrando la funzione di oscillazione della piastra di pressione; Per risolvere i problemi di deformazione da espansione e riduzione della durezza della piastra di lucidatura causata dal riscaldamento generato dalla lucidatura meccanica, LSTD ha sviluppato una nuova tecnologia e ha richiesto un brevetto in grado di controllare efficacemente la temperatura superficiale della piastra, la forma della piastra e la durezza della piastra; Per la lucidatura meccanica dei materiali semiconduttori di terza generazione come carburo di silicio, diamante e altri wafer, questa tecnologia può risolvere efficacemente i problemi di efficienza e precisione della lucidatura meccanica.

Lucidatrice meccanica serie MP TIPO BASIC
Tipo e specifiche | MP-380B(V*) | MP-460B(V) | MP-610B(V) | MP-810B(V) | MP-910B(V) | MP-1280B(V) | MP-1500B(V) |
Diametro della piastra di lucidatura | 381mm | 460 mm | 598 mm | 796 mm | 898 millimetri | 1262 mm | 1480 mm |
Diametro della piastra di pressione | 139 mm | 150mm | 240mm | 304,8 mm | 360mm/355mm | 485mm | 576 millimetri |
N. di piastra di pressione | 3 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 |
Numero di giri del piatto lucidante | 10~160 giri/min | 10~160 giri/min | 10~115 giri/min | 10~87 giri/min | 10-80giri/min | 10~64 giri/min | 10-54giri/min |
Pressione di lucidatura (max.) | 100 kg | 100 kg | 140kg | 250kg | 320 kg | 560kg | 760 kg |
Potenza del motore | 0.75kw | 1,5 kW | 3 kW | 5,5 kW | 11 kW | 22 kW | 35 kW |
Alimentazione elettrica | 3PH,380V,50Hz | ||||||
Dimensione | 1250L 770W 1560H | 1360L 850W 1650H | 1550L 900W 1700H | 1980L 920W 1900H | 2100L 1262W 2120H | 2550L 1670W 2200H | 3500L 2020W 2500H |
Peso (circa...) | 420kg | 720kg | 1080 kg | 2200 kg | 2400 kg | 7300kg | 9500 kg |
Capacità di caricamento dei wafer | 2"-4pezzi/testa 2"-3pezzi/testa(V) | 2"-5pezzi/testa 2"-4pezzi/testa(V) | 2"-10pezzi/testa 4"-3pezzi/testa | 2"-14pezzi/testa 4"-5pezzi/testa 5"-3pezzi/testa | 4"-7pezzi/testa 5"-5pezzi/testa 6"-3pezzi/testa | 5"-8pezzi/testa 6"-6pezzi/testa 8"-3pezzi/testa | 6"-8pezzi/testa 8"-5pezzi/testa |
Lucidatrice meccanica serie CD TYPE MP
Tipo e specifiche | MP-380B-CD | MP-460B-CD | MP-610B-CD | MP-810B-CD |
Diametro della piastra di lucidatura | 381mm | 460 mm | 598 mm | 796 mm |
Diametro della piastra di pressione | 139 mm | 150mm | 240mm | 304,8 mm |
N. di piastra di pressione | 3 | 4 | 4 | 4 |
Numero di giri del piatto lucidante | 10~160 giri/min | 10~160 giri/min | 10~115 giri/min | 10~87 giri/min |
Pressione di lucidatura (max.) | 100 kg | 100 kg | 140kg | 250kg |
Potenza motore azionato dal centro | 400W | 750KW | 1KW | 1,5KW |
Potenza del motore principale | 0.75kw | 1,5KW | 3 kW | 5,5 kW |
Alimentazione elettrica | 3PH,380V,50Hz | |||
Dimensione | 1250L 770W 1560H | 1360L 850W 1650H | 1550L 900W 1700H | 1980L 920W 1900H |
Peso (circa...) | 420kg | 720kg | 1080 kg | 2200 kg |
Capacità di caricamento dei wafer | 2"-4pezzi/testa | 2"-5pezzi/testa | 2"-10pezzi/testa 4"-3pezzi/testa | 2"-14pezzi/testa 4"-5pezzi/testa 5"-3pezzi/testa |
Tipo e specifiche | MP-910B-CD | MP-1280B-CD | MP-1500B-CD |
Diametro della piastra di lucidatura | 898 millimetri | 1262 mm | 1480 mm |
Diametro della piastra di pressione | 360 mm/355 mm | 485mm | 576 millimetri |
N. di piastra di pressione | 4 | 4 | 4 |
Numero di giri del piatto lucidante | 10-80giri/min | 10~64 giri/min | 10-54giri/min |
Pressione di lucidatura (max.) | 320 kg | 560kg | 760 kg |
Potenza motore azionato dal centro | 2KW | 3,5 kW | 5,5 kW |
Potenza del motore principale | 11 kW | 22 kW | 35 kW |
Alimentazione elettrica | 3PH,380V,50Hz | ||
Dimensione | 2100L 1262W 2120H | 2550L 1670W 2200H | 3500L 2020W 2500H |
Peso (circa...) | 2400 kg | 7300kg | 9500 kg |
Capacità di caricamento dei wafer | 4"-7pezzi/testa 5"-5pezzi/testa 6"-3pezzi/testa | 5"-8pezzi/testa 6"-6pezzi/testa 8"-3pezzi/testa | 6"-8pezzi/testa 8"5 pezzi/testa |
Lucidatrice meccanica serie IDP TYPE MP
Tipo e specifiche | MP-380B-IDP | MP-460B-IDP | MP-610B-IDP | MP-810B-IDP |
Diametro della piastra di lucidatura | 381mm | 460 mm | 598 mm | 796 mm |
Diametro della piastra di pressione | 139 mm | 150mm | 240mm | 304,8 mm |
N. di piastra di pressione | 3 | 3 | 4 | 4 |
Numero di giri del piatto lucidante | 10~160 giri/min | 10~160 giri/min | 10~115 giri/min | 10~87 giri/min |
Pressione di lucidatura (max.) | 100 kg | 100 kg | 140kg | 250kg |
Potenza del motore azionata dalla piastra di pressione | 200W | 200W | 400KW | 400KW |
Velocità di rotazione dello spingidisco | 0~200 giri/min | 0~200 giri/min | 0~100 giri/min | 0~100 giri/min |
Potenza del motore principale | 0.75kw | 1,5 kW | 3 kW | 5,5 kW |
Alimentazione elettrica | 3PH,380V,50Hz | |||
Dimensione | 950L 770W 1560H | 1100L 850W 1650H | 1350L 900W 1700H | 1600L 920W 1900H |
Peso (circa...) | 350 kg | 350 kg | 980 kg | 1800 kg |
Capacità di caricamento dei wafer | 2"-4pezzi/testa | 2"-4pezzi/testa | 2"-10pezzi/testa 4"-3pezzi/testa | 2"-14pezzi/testa 4"-5pezzi/testa 5"-3pezzi/testa |
Tipo e specifiche | MP-910B-IDP | MP-1280B-IDP | MP-1500B-IDP |
Diametro della piastra di lucidatura | 898 millimetri | 1262 mm | 1480 mm |
Diametro della piastra di pressione | 360 mm/355 mm | 485mm | 576 millimetri |
N. di piastra di pressione | 4 | 4 | 4 |
Numero di giri del piatto lucidante | 10-80giri/min | 10~64 giri/min | 10-54giri/min |
Pressione di lucidatura (max.) | 320 kg | 560kg | 760 kg |
Potenza del motore azionata dalla piastra di pressione | 2KW | 1KW | 1,3 kW |
Velocità di rotazione dello spingidisco | 2KW | 0~100 giri/min | 0~100 giri/min |
Potenza del motore principale | 11 kW | 22 kW | 35 kW |
Alimentazione elettrica | 3PH,380V,50Hz | ||
Dimensione | 1800L 1262W 2120H | 2180L 1670W 2200H | 2800L 2020W 2500H |
Peso (circa...) | 2200 kg | 7000 kg | 8600kg |
Capacità di caricamento dei wafer | 4"-7pezzi/testa 5"-5pezzi/testa 6"-3pezzi/testa | 5"-8pezzi/testa 6"-6pezzi/testa 8"-3pezzi/testa | 6"-8pezzi/testa 8"5 pezzi/testa |
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