Condizionatore per pastiglie CMP

Condizionatore per pastiglie CMP

​I condizionatori per cuscinetti vengono utilizzati per il condizionamento sia dei tamponi per lucidatura standard che dei tamponi per lucidatura fine. Eseguendo il condizionamento su questi cuscinetti, la planarità del cuscinetto può essere ben controllata e la ruvidità della superficie del cuscinetto può essere ottimizzata, quindi la precisione della geometria dei wafer lucidati può essere migliorata. garantita,
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introduzione al prodotto

I condizionatori per cuscinetti vengono utilizzati per il condizionamento sia dei tamponi per lucidatura standard che dei tamponi per lucidatura fine. Eseguendo il condizionamento su questi cuscinetti, la planarità del cuscinetto può essere ben controllata e la ruvidità della superficie del cuscinetto può essere ottimizzata, quindi è possibile garantire la precisione della geometria dei wafer lucidati. e l'efficienza della lucidatura sarà più stabile rispetto ai tamponi non condizionati, spesso, con un trattamento adeguato con i condizionatori per tamponi, la durata del tampone per lucidatura può essere prolungata fino al 30% ~ 50%.


I condizionatori a tampone sono utili sia nel processo di lucidatura su un lato che nel processo di lucidatura su doppio lato. Per ogni scopo, ha molti progetti possibili che possono produrre risultati diversi, qualunque disegno utilizziamo, il controllo della planarità, il controllo del parallelismo e il controllo della forza di legame del diamante sono sempre eseguiti rigorosamente senza compromessi.


Single side pad conditioner

Condizionatore a tampone singolo

Double side pad conditioner assembly

Gruppo condizionatore a tampone doppio lato


La piastra di ravvivatura del panno per lucidatura in ceramica viene utilizzata anche per la ravvivatura del tampone di lucidatura. Nella fase iniziale di utilizzo del tampone per lucidatura, questo ravvivatore può essere utilizzato per rivestire il tampone per lucidatura per ottenere un buon supporto adesivo e controllare la planarità del tampone per lucidatura.


Single side pad conditioner assembly

Gruppo condizionatore a tampone su un solo lato

Double side pad conditioning carrier

Portapacchi doppio per condizionamento laterale

Ceramic plate pad dresser

Appoggiapiatti in ceramica


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