La lucidatrice chimica meccanica è uno strumento di prova di processo utilizzato nei settori dell'elettronica e della tecnologia della comunicazione, della scienza e della tecnologia aeronautica e aerospaziale
Utilizzare acqua deionizzata per incollare wafer di silicio o utilizzare wafer di silicio ad adsorbimento sottovuoto per la lucidatura, abbandonando il modo tradizionale di cerare e incollare wafer di silicio, che favorisce la pulizia dei wafer di silicio dopo la lucidatura. 2. Con la funzione di contropressione, può migliorare significativamente l'uniformità della lucidatura. 3. Dotato di un sistema di rilevamento del punto finale di lucidatura per evitare un'eccessiva lucidatura. Prendendo SiO2 come esempio, WIWNU (non uniformità nel chip) minore o uguale al 3 percento, WTWNU (non uniformità nel chip) minore o uguale al 5 percento e RMS (20μm ×20μm) è inferiore a 0,4 nm.
