Lucidatrice meccanica chimica di tipo base
Il tipo base di macchine CP può soddisfare la richiesta applicativa di lucidatura chimico-meccanica nella maggior parte delle occasioni. L'apparecchiatura adotta una struttura di raffreddamento della piastra di lucidatura a percorso singolo a labirinto per garantire efficacemente l'uniformità della dissipazione del calore e il mantenimento della forma della piastra durante il processo di lucidatura, in modo da garantire la precisione della lucidatura in termini di hardware. L'utilizzo di cilindri a basso attrito di grandi dimensioni appositamente progettati e realizzati da LSTD garantisce la resistenza della lavorazione e l'accuratezza del processo.
Tipo e specifiche | CP-380B(V*) | CP-460B(V) | CP-610B(V) | CP-810B(V) | CP-910B(V) | CP-1280B(V) | CP-1500B(V) |
Diametro della piastra di lucidatura | 381 mm | 460 mm | 610 mm | 812 mm | 914mm | 1282mm | 1500 mm |
Diametro della piastra di pressione | 139 mm | 150 mm | 240mm | 304,8 mm | 360mm/355mm | 485 millimetri | 576 mm |
N. di piastra di pressione | 3 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 |
Numero di giri del piatto lucidante | 10~160 giri/min | 10~160 giri/min | 10~115 giri/min | 10~87 giri/min | 10-80giri/min | 10~64 giri/min | 10-54giri/min |
Pressione di lucidatura (max.) | 100 kg | 100 kg | 140kg | 250 kg | 320 kg | 560 kg | 760 kg |
Potenza del motore | 0.75kw | 1,5 kW | 3 kW | 5,5 kW | 11 kW | 22 kW | 35 kW |
Alimentazione elettrica | 3PH,380V,50Hz | ||||||
Dimensione | 950L 770W 1560H | 1100L 850W 1650H | 1350L 900W 1700H | 1600L 920W 1900H | 1800L 1262W 2120H | 2180L 1670W 2200H | 2800L 2020W 2500H |
Peso (circa..) | 350kg | 650 kg | 980 kg | 1800 kg | 2200 kg | 7000kg | 8600kg |
Capacità di caricamento dei wafer | 2"-4pezzi/testa 2"-3pezzi/testa(V) | 2"-5pezzi/testa 2"-4pezzi/testa(V) | 2"-10pezzi/testa 4"-3pezzi/testa | 2"-14pezzi/testa 4"-5pezzi/testa 5"-3pezzi/testa | 4"-7pezzi/testa 5"-5pezzi/testa 6"-3pezzi/testa | 5"-8pezzi/testa 6"-6pezzi/testa 8"-3pezzi/testa | 6"-8pezzi/testa 8"-5pezzi/testa |
*V rappresenta il mandrino a vuoto
Il serbatoio di alimentazione dei liquami di lucidatura con funzioni di base può essere utilizzato con il tipo base di macchine CP, mentre è possibile utilizzare anche alcuni sistemi di gestione dei liquami professionali. LSTD ha sviluppato una serie di sistemi di gestione dei liquami di lucidatura per realizzare le funzioni di controllo dei liquami di lucidatura come alimentazione, ricircolo, filtraggio, stabilizzazione della temperatura, controllo del PH, per garantire un processo di lucidatura stabile.
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